双面光刻机
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22/人使用者
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223/次机时次数
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627/小时总时长
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0/次送样次数
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31/人收藏者
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收费标准
机时300元/小时 -
设备型号
H94-30 -
当前状态
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管理员
田博博,杨长 18516046976 -
放置地点
闵行校区信息楼202-204
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
双面光刻机
资产编号
14001646
型号
H94-30
规格
H94-30|| ||4寸双面光刻
产地
中国
厂家
四川南光真空科技有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
极化材料与器件教育部重点实验室
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
钟妮 田博博
联系电话
18516046976
联系邮箱
qxzhu@clpm.ecnu.edu.cn
放置地点
闵行校区信息楼202-204
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
2um以上特征尺寸
主要功能及特色
微纳加工用
样本检测注意事项
用以制备高精度的光刻胶掩膜层，实现高精度的图形化制备。
设备使用相关说明
根据样品情况决定，500元/小时
备注
仪器使用申请根据学校规定
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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