磁控溅射镀膜机
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361/次机时次数
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2483/小时总时长
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0/次送样次数
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30/人收藏者
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收费标准
机时400元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
MSP-300B -
当前状态
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管理员
朱秋香,杨长 18516046976 -
放置地点
闵行校区信息楼202-204
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
磁控溅射镀膜机
资产编号
14006716
型号
MSP-300B
规格
MSP-300B|| ||MSP-300B
产地
中国
厂家
北京创世威纳科技有限公司
所属品牌
北京创世威纳科技有限公司
出产日期
购买日期
2014-10-01
所属单位
极化材料与器件教育部重点实验室
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
朱秋香 钟妮
联系电话
18516046976
联系邮箱
qxzhu@clpm.ecnu.edu.cn
放置地点
闵行校区信息楼202-204
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1. 反应室数量：单室
2. 极限真空：9×10-5 Pa（环境湿度≤55%）
3. 溅射材料：金属、非金属、化合物等薄膜材料。
2. 极限真空：9×10-5 Pa（环境湿度≤55%）
3. 溅射材料：金属、非金属、化合物等薄膜材料。
主要功能及特色
微电子、光电子、微机电系统、微纳加工等各个领域。
样本检测注意事项
多项溅射技术的交叉结合，可以实现多种材料的高性能薄膜沉积
设备使用相关说明
3-500元/片
备注
参考学校共享相关规定
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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