原子层沉积仪
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8/人使用者
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127/次总次数
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4578/小时总时长
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2/人收藏者
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
Sanule -
当前状态
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管理员
李亚巍,商丽燕 021-54345123 -
放置地点
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
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名称
原子层沉积仪
资产编号
13002011
型号
Sanule
规格
Sanule
产地
芬兰
厂家
Picosun
所属品牌
Picosun
出产日期
购买日期
2009-03-01
所属单位
材料科学系
使用性质
科研
所属分类
上报
资产负责人
李亚巍
联系电话
021-54345123
联系邮箱
ywli@ee.ecnu.edu.cn
放置地点
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
生长盘尺寸100mm；
加热源数量：2
液体源数量：1
氧源：水/臭氧
加热源数量：2
液体源数量：1
氧源：水/臭氧
主要功能及特色
超薄氧化物薄膜生长；
High－K栅介质
High－K栅介质
样本检测注意事项
基于表面吸附的自限制原理，薄膜厚度精确可控。
设备使用相关说明
3000元
备注
通过华东师大仪器共享平台联系
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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