原子层沉积系统
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12/人使用者
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287/次总次数
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8871/小时总时长
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13/人收藏者
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
PEALD-200A -
当前状态
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管理员
田博博 021-54345257 -
放置地点
闵行校区信息楼202-204
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
原子层沉积系统
资产编号
15004800
型号
PEALD-200A
规格
PEALD-200A|| ||PEALD-200A
产地
中国
厂家
嘉兴科民电子设备技术有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
极化材料与器件教育部重点实验室
使用性质
科研
所属分类
上报
资产负责人
田博博
联系电话
021-54345257
联系邮箱
bbtian@ee.ecnu.edu.cn
放置地点
闵行校区信息楼202-204
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1. 包含热型和等离子增强型原子层沉积功能
2. 设备采用一体化设计，嵌入式ELO触摸屏操作；设备尺寸小于1200（L）*800（W）*1600（H）
3. 腔体由远程等离子体沉积腔室和热型不锈钢反应腔室组成，并分别在两个腔体上设置有独立的光电限位开关。远程等离子体沉积腔室和不锈钢反应腔室分别设置有3个独立的前驱体源入口
4. 远程等离子体沉积腔室材质为阳极氧化铝，采用6061铝锭整体加工而成，反应腔室无焊接；腔门设有观察窗，以观察等离子体的放电状态；腔室及真空抽气管路的连接采用氟橡胶O型圈密封，真空漏率小于5*10-7Pa.L/s
5. 样品台尺寸为8-inch，同时能够向下兼容8-inch以下的衬底上的镀膜要求；样品台表面设有SiC片托，具有方便手动取片的工具
6. 样品台表面温度能够加热到400℃，温度控制精度为±0.5℃；对样品台表面晶圆温度在软件内进行温度关系校正
7. 反应腔外壁温度能够加热到150℃，保证腔室内温度的稳定性，同时具有保温装置，温度控制精度为±0.5℃
2. 设备采用一体化设计，嵌入式ELO触摸屏操作；设备尺寸小于1200（L）*800（W）*1600（H）
3. 腔体由远程等离子体沉积腔室和热型不锈钢反应腔室组成，并分别在两个腔体上设置有独立的光电限位开关。远程等离子体沉积腔室和不锈钢反应腔室分别设置有3个独立的前驱体源入口
4. 远程等离子体沉积腔室材质为阳极氧化铝，采用6061铝锭整体加工而成，反应腔室无焊接；腔门设有观察窗，以观察等离子体的放电状态；腔室及真空抽气管路的连接采用氟橡胶O型圈密封，真空漏率小于5*10-7Pa.L/s
5. 样品台尺寸为8-inch，同时能够向下兼容8-inch以下的衬底上的镀膜要求；样品台表面设有SiC片托，具有方便手动取片的工具
6. 样品台表面温度能够加热到400℃，温度控制精度为±0.5℃；对样品台表面晶圆温度在软件内进行温度关系校正
7. 反应腔外壁温度能够加热到150℃，保证腔室内温度的稳定性，同时具有保温装置，温度控制精度为±0.5℃
主要功能及特色
多项原子层沉积技术的交叉结合，可以实现多种材料的高性能原子层薄膜沉积。
样本检测注意事项
实现多种材料的高性能原子层薄膜沉积
设备使用相关说明
800元/小时＋材料费
备注
参考学校相关规定
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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