氧化物薄膜沉积系统

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    总次数
  • 19165/小时
    总时长
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收费标准

机时
0元/小时

设备型号

PLD-MBE

当前状态

管理员

商丽燕,胡志高 021-54345150

放置地点

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名称

氧化物薄膜沉积系统

资产编号

16008619

型号

PLD-MBE

规格

PLD-MBE|| ||PLD-MBE

产地

荷兰

厂家

荷兰TSST(Twente Solid State Technology BV)公司

所属品牌

出产日期

购买日期

所属单位

材料科学系

使用性质

科研

所属分类

上报

资产负责人

胡志高 商丽燕

联系电话

021-54345150

联系邮箱

zghu@ee.ecnu.edu.cn

放置地点

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  • 设备使用相关说明
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主要规格&技术指标
1) 真空度:优于10-8 mbar
2) 薄膜监控:30 KV RHEED
3) 样品大小:10x10 mm2
4) 衬底加热/方式:1100 oC/激光加热
5) 紫外激光器:248 nm
主要功能及特色
(1) 高质量氧化物薄膜、铁电/半导体异质结及新型光电探测器件的先进制备;
(2) 系统性研究氧化物薄膜材料的光电磁耦合特性和自旋相关现象;
(3) 探索微纳尺度下的光电耦合新效应及外场调控规律等。
样本检测注意事项
制备氧化物薄膜
设备使用相关说明
5000元
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