电子束光刻系统
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16783/小时总时长
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8/人收藏者
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
Raith Pioneer -
当前状态
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管理员
胡志高,商丽燕 18616712295 -
放置地点
闵行校区实验A楼138
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
电子束光刻系统
资产编号
19005701
型号
Raith Pioneer
规格
Raith Pioneer|| ||台
产地
美国
厂家
德国Raith公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2019-07-18
所属单位
材料科学系
使用性质
科研
所属分类
上报
资产负责人
商丽燕 胡志高
联系电话
18616712295
联系邮箱
wwli@ee.ecnu.edu.cn
放置地点
闵行校区实验A楼138
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1.加速电压：20V ~ 30kV
2.激光干涉工作台运动行程：50mm x 50mm x 25mm
3.激光干涉工作台X/Y方向运动精度：2nm
4.最小电子束束斑尺寸≤1.6nm
5.最小验收线宽≤ 8nm
6.最小光栅验收，周期≤ 40nm，线宽≤ 20nm
7.拼接/套刻精度：≤ 50nm (|mean| + 3？sigma)
2.激光干涉工作台运动行程：50mm x 50mm x 25mm
3.激光干涉工作台X/Y方向运动精度：2nm
4.最小电子束束斑尺寸≤1.6nm
5.最小验收线宽≤ 8nm
6.最小光栅验收，周期≤ 40nm，线宽≤ 20nm
7.拼接/套刻精度：≤ 50nm (|mean| + 3？sigma)
主要功能及特色
可用于大面积高精度光刻
样本检测注意事项
大面积高精度光刻
设备使用相关说明
1500元/小时
备注
需要提供光刻服务请提前邮件电话预约
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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