紫外曝光机
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58/人使用者
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618/次机时次数
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1775/小时总时长
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0/次送样次数
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84/人收藏者
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收费标准
机时分段计费 -
设备型号
MJB4 -
当前状态
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管理员
钟妮,高安然 13918789910 -
放置地点
闵行校区闵行物理楼124
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
紫外曝光机
资产编号
23003171
型号
MJB4
规格
MJB4 MJB4
产地
德国
厂家
苏斯
所属品牌
SUSS
出产日期
购买日期
2021-07-01
所属单位
微纳加工中心
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
钟妮
联系电话
13918789910
联系邮箱
nzhong@ee.ecnu.edu.cn
放置地点
闵行校区闵行物理楼124
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1. 最大晶圆尺寸： 4英寸，并且向下兼容各类不同尺寸及不规则小片；
2. 具有稳定可靠的三轴式晶圆契形误差补偿系统，可对晶圆和掩模版之间的平行度进行自动调平。
3. 曝光光源，采用高压汞灯，汞灯功率350W, 波长：350nm～450nm
4. *光强：32mw/cm2 @ 365nm；68mw/cm2@405nm
6. 光强均匀性：±1.0% @ Φ4”
8. 接近式曝光间距设定精度：1um Step
9. 分辨率: 1.0um
10. 对准方式：正面对准
11. 正面套准精度：+/-0.5um
2. 具有稳定可靠的三轴式晶圆契形误差补偿系统，可对晶圆和掩模版之间的平行度进行自动调平。
3. 曝光光源，采用高压汞灯，汞灯功率350W, 波长：350nm～450nm
4. *光强：32mw/cm2 @ 365nm；68mw/cm2@405nm
6. 光强均匀性：±1.0% @ Φ4”
8. 接近式曝光间距设定精度：1um Step
9. 分辨率: 1.0um
10. 对准方式：正面对准
11. 正面套准精度：+/-0.5um
主要功能及特色
紫外线曝光机是通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。采用掩膜对准技术，对光刻胶进行曝光，使受紫外光辐照的光刻胶发生性质变化，经过显影定影等处理步骤，从而在样品上形成亚微米精细图形的设备。
样本检测注意事项
样品加工
设备使用相关说明
600元/小时
备注
无
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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