真空电子束蒸发镀膜机
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
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当前状态
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管理员
汪旻 15001914982 -
放置地点
闵行校区闵行物理楼135
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
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名称
真空电子束蒸发镀膜机
资产编号
24001987
型号
规格
ei-501z
产地
日本
厂家
爱发科真空技术(苏州)有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
物理与电子科学学院
使用性质
科研
所属分类
上报
资产负责人
汪旻
联系电话
15001914982
联系邮箱
mwang@phy.ecnu.edu.cn
放置地点
闵行校区闵行物理楼135
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
真空度：3.0×10-5Pa；排气速度: 20分钟内到达3.0×10-4Pa；基板加热温度：最大350℃；镀膜均匀性：8 英寸内5%。坩埚尺寸：20CC/40CC/110CC
主要功能及特色
满足上海市“超限制造”市级科技重大专项任务中大面积、高性能的金属和介质膜镀膜需求，兼容200mm以下所有尺寸的晶圆，可提供具有高度均匀和高精度的工艺，预期在产业化化工芯片加工效率提升的应用与探索中将发挥重要作用。
样本检测注意事项
蒸发镀膜
设备使用相关说明
根据送样议价
备注
不提供线上预约，直接联系设备管理员
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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