大尺寸抛光机
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
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当前状态
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管理员
汪旻 15001914982 -
放置地点
闵行校区闵行物理楼120-122
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
大尺寸抛光机
资产编号
22669513
型号
规格
DP1-5 DP1-5
产地
英国
厂家
瀚名国际贸易有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
物理与电子科学学院
使用性质
科研
所属分类
上报
资产负责人
汪旻
联系电话
15001914982
联系邮箱
mwang@phy.ecnu.edu.cn
放置地点
闵行校区闵行物理楼120-122
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1 研磨材料的直径≤12英寸
2★研磨后样品总厚度偏差（TTV）：≤±8μm@12英寸
3抛光后粗糙度Ra≤1nm
4具体工艺指标要求：
4.1系统适宜于加工MESE器件，加工的常规尺寸为12英寸及以下，小于1.5mm；适用的加工工艺具有较高的可操作性和经济性；
4.2★抛光后12英寸晶片的总厚度偏差（TTV）在±8um以内；抛光后粗糙度Ra≤1nm。
2★研磨后样品总厚度偏差（TTV）：≤±8μm@12英寸
3抛光后粗糙度Ra≤1nm
4具体工艺指标要求：
4.1系统适宜于加工MESE器件，加工的常规尺寸为12英寸及以下，小于1.5mm；适用的加工工艺具有较高的可操作性和经济性；
4.2★抛光后12英寸晶片的总厚度偏差（TTV）在±8um以内；抛光后粗糙度Ra≤1nm。
主要功能及特色
用于12英寸及以下铌酸锂样品的抛光处理。要求设备设计科学、性能先进、自动化程度高、操作方便、可靠性和维护性强。
样本检测注意事项
来料抛光
设备使用相关说明
价格视样品加工难度确定
备注
允许共享给校内外单位使用，可委托实验室进行实验。
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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