物理与电子科学学院

一、纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心

1、X射线衍射仪：设备编号20953031

  XRD、XRR、小角衍射：校内150元/小时，校外300元/小时

2、薄膜厚度测试仪（台阶仪/表面轮廓）：设备编号17006323

  厚度、表面粗糙度：校内100元/小时，校外200元/小时

3、电化学分析仪：设备编号10000258

  阻抗等：校内100元/小时，校外200元/小时

4、光谱仪 荧光及薄膜透反射系统：设备编号10000257

  PL谱、量子效率等：校内100元/小时，校外200元/小时

5、粒度粘度热稳定综合测定仪：设备编号11004132

  颗粒分布：校内100元/小时，校外200元/小时

6、原子力显微镜：设备编号18000917

  表面立体形貌、粗糙度，磁性材料表面等：校内200元/小时，校外400元/小时

7、太阳能电池测试系统：设备编号10000262

  电池特性：校内100元/小时，校外200元/小时

8、总有机碳分析仪：设备编号12005762

  含碳总量：校内100元/小时，校外200元/小时

9、稳瞬态荧光仪：设备编号22667953

  稳态荧光光谱瞬态荧光寿命：校内150元/小时，校外300元/小时

10、电化学工作站：设备编号23003032 

  循环伏安曲线电化学阻抗谱：单位内50元/小时，校内100元/小时，校外250元/小时

二、物电/电子科学系/极化材料

1、双面光刻机：设备编号14001646

  紫外光刻：校内300元/小时，校外500元/小时

2、磁控溅射镀膜机：设备编号14006716   

  溅射：

  1）400/小时+150元/次工艺+材料费：2元/nm（非贵金属）

  2）800/小时+300元/次工艺+材料费：2元/nm（非贵金属）；5元/nm(贵金属 ）

3、全自动反应离子束刻蚀机：设备编号14006715   

  反应刻蚀：校内300元/小时，校外600元/小时

4、去胶清洗机：设备编号14006714   

  表面处理：校内100元/小时，校外200元/小时

5、电化学工作站：设备编号19005579   

  电极材料：校内50元/小时，校外150元/小时

6、铁电测试仪：设备编号21000866

  样品形貌、微区性能表征：校内100元/小时，校外200元/小时

7、半导体参数分析仪：设备编号17011034

  器件表征：校内200元/小时，校外350元/小时

8、光学显微镜：设备编号13002319

  样品形貌、微区性能表征：校内300元/小时，校外600元/小时

9、引线键合机：设备编号15001499

  器件连线：校内100元/小时，校外200元/小时

10、综合物性测试仪：设备编号10006347

  性能表征：校内300元/小时，校外600元/小时

11、X射线衍射仪：设备编号12005525

  样品结构：校内150元/小时，校外300元/小时

12、高倍长工作距离显微镜：设备编号19003352

  样品形貌、微区性能表征：校内100元/小时，校外200元/小时

13、探针测试台：设备编号16002222

  电学测试辅助设备：校内30元/小时，校外60元/小时
14、光电探针台：设备编号19003351

  电学测试辅助设备：校内50元/小时，校外100元/小时

15、离子束刻蚀机：设备编号24001996

  微纳加工：校内100元/小时，校外200元/小时

16、电极探针台：设备编号23015683

  电学测试：校内100元/小时，校外200元/小时

17、原位电学测量系统：设备编号22670767

  电学测试：校内100元/小时，校外200元/小时

18、光纤耦合测试探针台：设备编号19015466

  光电测试：校内50元/小时，校外100元/小时

三、上海市磁共振重点实验室

1、核磁共振成像系统：设备编号09000013

  磁共振成像扫描：校内1000元/小时，校外2000元/小时

2、核磁共振波谱仪(500M液体）：设备编号20032496

  常温常规一维谱：校内50元/样品（≤30min），校外100元/样品（≤30min）

3、核磁共振波谱仪（700M液体）：设备编号10000170

  常温常规一维谱：校内80元/样品（≤30min），校外150元/样品（≤30min）

4、核磁共振波谱仪（300M固体）：设备编号10000176

  常温常规一维谱：校内100元/小时，校外200元/小时

5、400M核磁共振谱仪（400M固体）：设备编号13005294

  常温常规一维谱：校内100元/小时，校外200元/小时

6、核磁共振谱仪（600M固体）：设备编号10000175

  常温常规一维谱：校内200元/小时，校外400元/小时

7、600M固体核磁共振谱仪（600M固体）：设备编号13005295 

  常温常规一维谱：校内200元/小时，校外400元/小时